目前，EUV 光刻机主要部署和安装在台积电和三星的晶圆厂，而现在存储器制造商正准备开始使用它。SK 大力士计划在今年年底前完成 M16 工厂的建设，德国的 CB 表示，M14 老厂也将引进该设备。

EUV 光刻机将用于 SK 大力士的第四代（1anm) 内存，目前的代际划分为 1x、1Y、1Z 和 1a。

EUV 光刻机的参与可以减少多次曝光过程，提供工艺精度，从而缩短生产时间，降低成本，提高性能。

当然，EUV 光刻机真的很热。唯一的制造商 ASML(荷兰 Asmae) 的产能非常有限，虽然每台售价约 10 亿元，但供应仍然短缺。这一次，新老工厂登上了工厂的顶端，目前尚不清楚有多少 SK 大力神（SK Hercules) 是从 ASML 最后定案的。

此外，三星还将于 2021 年将 16 GB 容量的 LPDDR 5 投入生产内存中，这是较早时发布的，该报告称。

SK 大力士加速了第四代内存的大规模生产：新老工厂都安装在 EUV 光刻机上